半導(dǎo)體的防潮防氧化
發(fā)布時(shí)間：2013年03月04日 點(diǎn)擊數(shù)：
半導(dǎo)體的防潮防氧化
半導(dǎo)體芯片及半成品，在工廠里，同樣是需要進(jìn)行防潮防氧化的存儲(chǔ)。這些芯片及半成品結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部存在各種小縫隙，如放置在不干燥的環(huán)境下，就會(huì)吸取潮氣，進(jìn)而導(dǎo)致芯片的不良。在某種程度上，這些芯片同樣可以歸類(lèi)至潮濕敏感器件。故這些芯片及半成品同樣需要低濕設(shè)備進(jìn)行防潮防氧化存儲(chǔ)。
目前，在半導(dǎo)體工廠里，傳統(tǒng)使用的的防潮防氧化設(shè)備為氮?dú)夤?/a>。氮?dú)夤袷遣捎迷诠駜?nèi)充入高濃度氮?dú)獾姆绞?，以達(dá)到柜內(nèi)無(wú)氧及低濕環(huán)境。進(jìn)而達(dá)到對(duì)所存儲(chǔ)物品的防潮防氧化效果。
相比于防潮箱（也叫防潮柜、干燥柜、干燥箱），氮?dú)夤竦膬?yōu)點(diǎn)在于防氧化的效果。但氮?dú)夤褚灿衅錈o(wú)法避免的劣勢(shì)。那就是運(yùn)行成本！據(jù)有關(guān)半導(dǎo)體工廠統(tǒng)計(jì)。氮?dú)夤衩磕甑倪\(yùn)行成本在RMB1~5萬(wàn)之間。對(duì)于氮?dú)夤癖旧聿艓浊е烈蝗f(wàn)多左右的成本。這個(gè)氮?dú)夤竦倪\(yùn)行成本確實(shí)非常高。
所以，現(xiàn)在在半導(dǎo)體工廠中的防潮防氧化存儲(chǔ)中，慢慢地改為使用快速超低濕的防潮箱進(jìn)行替換氮?dú)夤?。此種快速超低濕防潮箱，一方面需要此防潮箱的低濕可達(dá)5%RH以下；另一方面，需要保證此防潮箱在頻繁開(kāi)關(guān)門(mén)時(shí)仍在5%RH以下，也就是需要此防潮箱的快速恢復(fù)能力。
目前，在某大型半導(dǎo)體工廠中，對(duì)于快速超低濕防潮箱與氮?dú)夤竦姆莱狈姥趸鎯?chǔ)效果，已分別進(jìn)行過(guò)短期及長(zhǎng)期的存儲(chǔ)效果對(duì)比。對(duì)比的效果顯示，能滿(mǎn)足上述要求的快速超低濕存儲(chǔ)防潮箱可與氮?dú)夤衿鸬较嗤姆姥趸Ч?。而且，在防潮效果上，有過(guò)之而無(wú)不及。
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